無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng) 

概述：[中介]HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)是一款廣泛應用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率無損測量的專業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設計都符合ASTM(美國材料

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度電阻率
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信用：4.0  隱性收費：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務態(tài)度：4.0
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產(chǎn)品簡介


   HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)是一款廣泛應用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率無損測量的專業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設計都符合ASTM(美國材料實驗協(xié)會)和Semi標準，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。





產(chǎn)品特點


■ 無接觸無損傷測量


■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料


■ 抗干擾強，穩(wěn)定性好                                       


■ 強大的工控機控制和大屏幕顯示


■ 一體化設計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定


■ 為晶圓硅片關鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量





 技術指標


■ 測試尺寸：50mm-300mm.


■ 厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um.


■ 測試精度：+/-0.25um


■ 電阻率測試范圍：0.1-50 ohm.cm


■ 測量精度：2%


■ 晶圓硅片類型：單晶或多晶硅
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